Эллипсометр предназначен для измерения состояния поляризации светового пучка, которое определяется по результатам сравнения углов поворота поляризатора, компенсатора и анализатора.
Решаемые задачи:
- определение показателя преломления и поглощения (оптических постоянных) материалов (в твердом и жидком состояниях);
- определение оптических постоянных и толщины прозрачных диэлектрических пленок на поверхности полупроводников и слабо поглощающих свет пленок на различных подложках;
- исследование шероховатости поверхностей.